產(chǎn)品名稱：磁控濺射脈沖電源

產(chǎn)品型號：BIPS-50001.2E

 

      隨著科學技術不斷地發(fā)展，磁控濺射技術也得到了快速的發(fā)展，但在磁控濺射過程中，關鍵部分是脈沖磁控濺射電源，目前，脈沖磁控濺射電源

向大功率、高頻化方向發(fā)展，由于開關電源的高頻化使得開關電源的損耗增加，因此，我公司設計生產(chǎn)的大功率磁控濺射脈沖電源采用了移相式軟開

關技術，大大降低了電源的開關損耗，提高了電源的效率，利用輸出電流保護點設置的方法，是輸出電流任意調節(jié)，實現(xiàn)了快速反應的過流保護。高

效和完善的保護措施是電源能長期可靠的運行保證，電源控制采用數(shù)字化設計，實現(xiàn)電源的本地控制和上位機智能化控制的目的。

      電源采用脈沖單元疊加技術,將5組相互獨立的單元模塊串聯(lián)起來,采用同步驅動技術,實現(xiàn)了5kV 的高壓脈沖輸出?？赏ㄟ^增減脈沖單元的數(shù)量,滿足

不同輸出電壓的需要,實現(xiàn)了模塊化設計。

      該系列電源的指標為:
      脈沖電壓幅值500V～5kV ,脈沖頻率500Hz～50kHz ,脈沖占空比5%～90% ,脈沖電流幅值10～200A ,脈沖功率5～50kW。

1、單極性脈沖磁控濺射電源是在直流磁控濺射電源基礎上增加單極性正脈斬波電路組合而成，消除了由于直流反應濺射出現(xiàn)的靶的污染、陽極

     消失、極間打火等問題。

2、該電源除具有直流磁控濺射電源的優(yōu)點外，能明顯改善靶面電荷積累現(xiàn)象，減少濺射靶表面的打火次數(shù)，提高膜層質量，適用于金屬、合金

     及石墨等靶材鍍制純金屬膜，碳膜和部分氧化物、氮化物及碳化物膜。能明顯性改善靶面電荷積累現(xiàn)象，減少濺射靶表面的打火次數(shù)，提高

     膜層質量。

3、輸出電壓為單極性脈沖，具有平均電流穩(wěn)流功能。

4、該電源由多個相對獨立的單元疊加而成,具有可靠性高、擴展性好等特點。

1、 型號：BIPS-50001.2E；

2、 額定功率：6kW；

3、 額定輸入電壓：3 AC380V±10%, 50Hz ；

4、 輸出方式：脈沖；

5、 輸出頻率：5～20kHz ；

6、 脈沖電壓幅值：1000～5000V（峰值）；

7、 平均電流：0～1.2A；

8、 輸出脈沖周期：50～200uS；

9、 脈沖占空比：10～50% ；

10、冷卻方式：風冷；

11、外形尺寸：435mm×264mm×554mm（寬×高×深）；

12、保護功能：具有過流、過壓、過熱等保護措施；

13、液晶屏的智能控制系統(tǒng)，任意設定輸出脈沖電壓幅值、脈沖周期時間及脈沖頻率，以及各種工藝參數(shù)，具有在線可編程功能。